大面積グラフェンの製造方法及び転写方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：渡邊隆 , 実広信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010251597
Publication number (International publication number)：2011105590
Application date： Nov. 10, 2010
Publication date： Jun. 02, 2011
Summary：

【課題】大面積グラフェンの製造方法及び転写方法を提供する。【解決手段】基板上にグラフェン層、保護層及び接着層を順次に形成した後、基板を除去し、次に、転写基板上に、グラフェン層が接触するように、グラフェン層を整列する段階を含む大面積グラフェン転写方法である。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

基板上にグラフェン層を形成する段階と、前記グラフェン層上に、保護層及び接着層を順次に形成する段階と、前記基板を前記グラフェン層から除去する段階と、転写基板上に、前記グラフェン層が接触するように、前記グラフェン層を整列する段階と、前記接着層及び保護層を順次に除去する段階と、を含む大面積グラフェン転写方法。

IPC (1)：

C01B 31/04

FI (1)：

C01B31/04 101Z

F-Term (17)：

4G146AA02 , 4G146AB07 , 4G146AD05 , 4G146AD28 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB22 , 4G146BB23 , 4G146BC08 , 4G146BC44 , 4G146CB12 , 4G146CB15 , 4G146CB20 , 4G146CB21 , 4G146CB23 , 4G146CB26 , 4G146CB29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (14)

グラフェン層の剥離方法、グラフェンウエハの製造方法、グラフェンウエハ、及び、グラフェン素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-148308 Applicant：株式会社沖データ, 株式会社沖デジタルイメージング
グラフェンシート及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-277065 Applicant：三星電子株式会社
グラフェン基板及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-039263 Applicant：株式会社デンソー

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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