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J-GLOBAL ID：201203090997680740

インプリント方法およびインプリント装置

Inventor：
栗原 正彰

About 栗原 正彰

, 
吉田 幸司

About 吉田 幸司

, 
佐々木 志保

About 佐々木 志保


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (6)： 金山 聡 ,  深町 圭子 ,  伊藤 英生 ,  藤枡 裕実 ,  後藤 直樹 ,  伊藤 裕介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010165328
Publication number (International publication number)：2012028536
Application date： Jul. 22, 2010
Publication date： Feb. 09, 2012
Summary：
【課題】 本発明は、モールドの製造に複雑な工程を要することなく、モールド材と同じ材料からなるアライメントマークを光学的に識別することを可能とし、高いアライメント精度で位置合わせすることができるインプリント方法およびインプリント装置を提供することを目的とするものである。【解決手段】 少なくとも、基板側アライメントマーク領域上に形成する硬化型樹脂の屈折率を、従来の硬化型樹脂の屈折率の値とは異なる大きさにして、モールド材料の有する屈折率との差を広げることにより、上記課題を解決する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
凹凸の転写パターンが形成された転写領域とモールド側アライメントマークが形成されたモールド側アライメントマーク領域とを有するインプリント用モールドと、前記凹凸の転写パターンが転写される被転写領域と基板側アライメントマークが形成された基板側アライメントマーク領域とを有する被転写基板とを用い、前記モールド側アライメントマークと前記基板側アライメントマークとを光学的に位置合わせして、前記モールドの転写パターンを前記被転写基板上に形成された硬化型樹脂に転写するインプリント方法であって、 前記硬化型樹脂の、前記光学的位置合わせに用いる光源の平均波長における硬化前の屈折率が、1.7以上であることを特徴とするインプリント方法。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  B29C 59/02
FI (3)：
H01L21/30 502D ,  H01L21/30 502M ,  B29C59/02 Z
F-Term (19)：
4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AQ01 ,  4F209AR07 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PN13 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F046EA14 ,  5F046ED05 ,  5F146AA28 ,  5F146EA14 ,  5F146ED05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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