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J-GLOBAL ID:201403020088414000

太陽電池評価装置および太陽電池評価方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松阪 正弘
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2010017288
Publication number (International publication number):2011155225
Patent number:5509414
Application date: Jan. 28, 2010
Publication date: Aug. 11, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 薄膜型太陽電池の品質を評価する太陽電池評価装置であって、 受光面に沿って配列され、直列に接続される複数の太陽電池セルに光を照射して前記複数の太陽電池セルを導通状態とする第1光照射部と、 前記複数の太陽電池セル上の複数の測定位置に局所的に光を順次照射する第2光照射部と、 前記複数の測定位置のそれぞれに光が照射された際に前記複数の太陽電池セルにて生じる電圧および電流の少なくとも一方を測定する電気測定部と、 前記複数の測定位置における、屈折率、消衰係数、膜厚、光吸収係数および表面粗度のうち少なくとも2つに対応する複数種類の測定値を、光学的手法により前記複数の太陽電池セルと非接触にて取得する光学測定部と、 前記複数の測定位置における前記複数種類の測定値である複数種類の測定値分布と、前記電気測定部により取得された前記複数の測定位置における電気特性である電気特性分布とを比較することにより、前記電気特性分布と最も相関性を有する測定値分布の種類を特定する種類特定部と、 を備えることを特徴とする太陽電池評価装置。
IPC (1):
H01L 31/04 ( 201 4.01)
FI (1):
H01L 31/04 K
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (18)
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