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J-GLOBAL ID：201503003509743013

パーティクルカウンタ

Inventor：
桑名 健太

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磯崎 瑛宏

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新荻 正隆

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富松 大

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伊藤 寿浩

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Applicant, Patent owner：
セイコーインスツル株式会社

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国立研究開発法人産業技術総合研究所

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Agent (2)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011054222
Publication number (International publication number)：2012189492
Patent number：5780584
Application date： Mar. 11, 2011
Publication date： Oct. 04, 2012
Claim (excerpt)：
【請求項1】 流動する試料気体を内部通過させる内部流路が形成されたフローセルと、 前記内部流路の内壁面に沿って形成され、該内部流路を通過する前記試料気体の流速を計測する流速計測部と、 前記内部流路を通過する前記試料気体に向けて検出光を照射する光照射部、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部と、 前記流速計測部で計測された前記流速に基づいて前記試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量と前記パーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部と、を備え、 前記内部流路には、前記試料気体の流動方向における前記流速計測部の形成範囲内に、前記パーティクル計測部が設けられ、 前記流速計測部は、 前記フローセルの内部に形成され、前記内部流路の上流側及び下流側において該内部流路の前記内壁面にそれぞれ開口した開口部を有する流速計測用通路と、 基端側から先端側に向けて一方向に延びる板状に形成され、基端側が前記フローセルに片持ち状に支持された状態で前記流速計測用通路内に配設されたレバー部と、 該レバー部の変位を測定する変位測定部と、を備え、 前記レバー部は、前記内部流路内における前記上流側と前記下流側との圧力差に応じて撓み変形することを特徴とするパーティクルカウンタ。
IPC (4)：
G01N 15/06 ( 200 6.01) ,  G01P 5/04 ( 200 6.01) ,  G01F 1/36 ( 200 6.01) ,  G01P 5/20 ( 200 6.01)
FI (5)：
G01N 15/06 D ,  G01P 5/04 F ,  G01P 5/04 H ,  G01F 1/36 ,  G01P 5/20 E
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (12)
  • 粒子検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-352133   Applicant：リオン株式会社
  • 浮遊粒子分析装置および浮遊粒子分析方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-346162   Applicant：オーム電機株式会社
  • 特開平1-301145
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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