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J-GLOBAL ID：201603015025601635

走査プローブ顕微鏡、走査プローブ顕微鏡の測定レンジ調整方法及び測定レンジ調整プログラム

Inventor：
繁野 雅次

About 繁野 雅次

, 
鹿倉 良晃

About 鹿倉 良晃


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクサイエンス

About 株式会社日立ハイテクサイエンス


Agent (3)： 赤尾 謙一郎 ,  下田 昭 ,  栗原 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016058655
Publication number (International publication number)：2016194511
Application date： Mar. 23, 2016
Publication date： Nov. 17, 2016
Summary：
【課題】周囲の温度等が変化して測定中に信号がドリフトしても、ドリフトを補正して測定データの取得を精度よく行える走査プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー1の変位を示す信号を検出する変位検出器5と、カンチレバーと試料300の表面との間の所定の物理量を一定に維持させながら、探針99を走査させて測定データを取得する走査プローブ顕微鏡200において、測定データを取得する前に、探針を粗く走査させたプリスキャンを行ったとき、信号の最大値と最小値から、測定幅=(最大値-最小値)と、オフセット量=(測定幅/2)+最小値を算出する測定レンジ算出手段40と、プリスキャンを行ったときの、試料の表面の同一位置での信号の経時変化量に基づき、オフセット量又は前記測定幅のうち少なくともいずれか一方を補正する算出データ補正手段40と、信号に基づいて、測定データを取得する測定データ取得手段7と、をさらに備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料の表面に接触又は近接させる探針が設けられたカンチレバーと、前記カンチレバーの変位を示す信号を検出する変位検出器と、前記信号に基づいて前記カンチレバーと前記試料の表面との間の所定の物理量を一定に維持させながら、前記探針を前記試料の表面に沿って相対的に走査させたときに得られた測定データを取得する走査プローブ顕微鏡において、 前記測定データを取得する前に、前記探針を粗く走査させたプリスキャンを行ったとき、前記信号の最大値と最小値から、測定幅=(前記最大値-前記最小値)と、オフセット量=(前記測定幅/2)+前記最小値を算出する測定レンジ算出手段と、 前記プリスキャンを行ったときの、前記試料の表面の同一位置での前記信号の経時変化量に基づき、前記オフセット量又は前記測定幅のうち少なくともいずれか一方を補正する算出データ補正手段と、 前記信号に基づいて、前記測定データを取得する測定データ取得手段と、 をさらに備えたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2)：
G01Q 30/06 ,  G01Q 60/10
FI (2)：
G01Q30/06 ,  G01Q60/10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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