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J-GLOBAL ID：201603018446607500

検査装置および検査方法

Inventor：
永田 泰史

About 永田 泰史

, 
佐々 泰志

About 佐々 泰志


Applicant, Patent owner：
株式会社SCREENホールディングス

About 株式会社SCREENホールディングス


Agent (3)： 松阪 正弘 ,  田中 勉 ,  井田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014198207
Publication number (International publication number)：2016070732
Application date： Sep. 29, 2014
Publication date： May. 09, 2016
Summary：
【課題】偽欠陥の検出を抑制して、欠陥を精度よく検出する。【解決手段】撮像画像の各画素の値と参照画像の対応する画素の値との差に基づいて検出される第1欠陥候補領域と、撮像画像の各画素の値と参照画像の対応する画素の値との比に基づいて検出される第2欠陥候補領域とにおいて重複する領域が欠陥領域として検出される。これにより、偽欠陥の検出を抑制して、欠陥を精度よく検出することができる。好ましい欠陥検出部62では、ゆすらせ比較部623において撮像画像と参照画像との間の画素の値の差に基づいて欠陥候補領域が検出され、虚報低減処理部629において上記比を求める画素が、当該欠陥候補領域に含まれる画素に制限される。これにより、欠陥を効率よく検出することが可能となる。【選択図】図9
Claim (excerpt)：
対象物の表面の欠陥を検出する検査装置であって、 対象物を撮像することにより撮像画像を取得する撮像部と、 前記撮像画像に対応する参照画像を記憶する記憶部と、 前記撮像画像の各画素の値と前記参照画像の対応する画素の値との差に基づいて検出される第1欠陥候補領域と、前記撮像画像の各画素の値と前記参照画像の対応する画素の値との比に基づいて検出される第2欠陥候補領域とにおいて重複する領域を欠陥領域として検出する、または、前記撮像画像と前記参照画像との差分画像の各画素の値と前記参照画像の対応する画素の値との比に基づいて欠陥領域を検出する欠陥検出部と、 を備えることを特徴とする検査装置。
IPC (1)：
G01N 21/88
FI (1)：
G01N21/88 J
F-Term (18)：
2G051AA07 ,  2G051AB07 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051BB02 ,  2G051BC07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051CD05 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED09 ,  2G051ED11 ,  2G051ED15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
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