不純物ドープダイヤモンド及びその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (5)：山田威一郎 , 立花顕治 , 田中順也 , 松井宏記 , 水谷馨也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015098261
Publication number (International publication number)：2016213409
Application date： May. 13, 2015
Publication date： Dec. 15, 2016
Summary：

【課題】単結晶構造を有している不純物ドープダイヤモンドを提供する。【解決手段】ダイヤモンドに不純物がドープされた、不純物ドープダイヤモンドであって、不純物ドープダイヤモンドは、ホウ素及びリンの少なくとも一方を不純物として、その濃度が、1×1018cm-3〜1×1022cm-3であり、熱フィラメントCVD法により好適に高濃度不純物ドープダイヤモンドを長時間にわたり合成することができ、単結晶構造を有している。透過FT-IRによって測定される有効アクセプタ密度と、二次イオン質量分析法で測定される不純物濃度との比によって算出されるホール活性化率(有効アクセプタ密度/不純物濃度)が、95%以上である。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドに不純物がドープされた、不純物ドープダイヤモンドであって、前記不純物ドープダイヤモンドは、熱フィラメントCVD法により合成されており、単結晶構造を有している、不純物ドープダイヤモンド。

IPC (5)：

H01L 21/205 , C30B 29/04 , C01B 31/06 , C23C 16/27 , C23C 16/44

FI (5)：

H01L21/205 , C30B29/04 G , C01B31/06 Z , C23C16/27 , C23C16/44 A

F-Term (49)：

4G077AA02 , 4G077AA03 , 4G077AB01 , 4G077BA03 , 4G077DB07 , 4G077DB21 , 4G077EA02 , 4G077EA05 , 4G077EA06 , 4G077EB01 , 4G077EC09 , 4G077EC10 , 4G077ED06 , 4G077HA06 , 4G077TA04 , 4G077TA07 , 4G077TB02 , 4G077TC02 , 4G077TC06 , 4G077TC19 , 4G146AA04 , 4G146AA15 , 4G146AA17 , 4G146AC01A , 4G146AC20A , 4G146AC27A , 4G146AD01 , 4G146AD28 , 4G146BC09 , 4K030AA09 , 4K030AA17 , 4K030BA28 , 4K030BB02 , 4K030CA01 , 4K030CA17 , 4K030FA10 , 4K030FA17 , 4K030JA01 , 5F045AA03 , 5F045AA16 , 5F045AB07 , 5F045AC07 , 5F045AC19 , 5F045AD11 , 5F045AD12 , 5F045AD13 , 5F045AD14 , 5F045AF02 , 5F045AF10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

調整可能なCVDダイアモンド構造体
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2004-564000 Applicant：アポロダイアモンド,インコーポレイティド
ダイヤモンド発光素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-137057 Applicant：株式会社神戸製鋼所
特開平3-163820

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