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J-GLOBAL ID：201903011464586258

基板および基板の製造方法

Inventor：
林 侑介

About 林 侑介

, 
三宅 秀人

About 三宅 秀人


Applicant, Patent owner：
国立大学法人三重大学

About 国立大学法人三重大学


Agent (1)： 新居 広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018037571
Publication number (International publication number)：2019151520
Application date： Mar. 02, 2018
Publication date： Sep. 12, 2019
Summary：
【課題】AlN膜の結晶性を向上し、かつ、反りが低減された基板を提供する。【解決手段】基板1は、サファイア基板2と、前記サファイア基板の第1主面に形成された第1のAlN膜3aと、前記サファイア基板の前記第1主面と反対側の第2主面に形成された第2のAlN膜3bとを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
サファイア基板と、 前記サファイア基板の第1主面に形成された第1のAlN膜と、 前記サファイア基板の前記第1主面と反対側の第2主面に形成された第2のAlN膜とを備える、 基板。
IPC (5)：
C30B 29/38 ,  C30B 23/02 ,  C30B 33/02 ,  C23C 14/06 ,  H01L 21/324
FI (5)：
C30B29/38 C ,  C30B23/02 ,  C30B33/02 ,  C23C14/06 A ,  H01L21/324 X
F-Term (33)：
4G077AA03 ,  4G077AB08 ,  4G077BE13 ,  4G077DA11 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077EE01 ,  4G077FE19 ,  4G077HA12 ,  4G077SA04 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA58 ,  4K029BB04 ,  4K029BB07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA06 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01 ,  5F103BB14 ,  5F103BB22 ,  5F103DD01 ,  5F103HH04 ,  5F103LL02 ,  5F103NN01 ,  5F103NN04 ,  5F103NN06 ,  5F103PP03 ,  5F103PP06 ,  5F103PP07 ,  5F103RR01 ,  5F103RR06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (9)
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