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J-GLOBAL ID：202203004268542799

計測装置、計測システム、移動体、および計測方法

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Inventor： , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (5)：田▲崎▼ 聡 , 飯田雅人 , 小林淳一 , 川越雄一郎 , 春田洋孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022127322
Publication number (International publication number)：2022163150
Application date： Aug. 09, 2022
Publication date： Oct. 25, 2022
Summary：

【課題】試料にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて被照射試料を計測する場合に、計測精度を向上できる計測装置、計測システム、移動体、および計測方法を提供する。【解決手段】検査対象にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて、検査対象を計測する計測装置は、レーザー光を照射するレーザー装置と、レーザー光の照射箇所との間の距離に基づいて、レーザー光を集光するレーザー集光ユニットの集光レンズ間の距離の調整量を導出する集光位置導出部と、調整量を示す情報を含む制御情報を、レーザー集光ユニットへ送信する通信部とを備える。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

検査対象にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて、前記検査対象を計測する計測装置であって、前記レーザー光を照射するレーザー装置と、前記レーザー光の照射箇所との間の距離に基づいて、前記レーザー光を集光するレーザー集光ユニットの集光位置の調整量を導出する集光位置導出部と、前記調整量を示す情報を含む制御情報を、前記レーザー集光ユニットへ送信する通信部とを備える、計測装置。

IPC (1)：

G01N 29/24

FI (1)：

G01N29/24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-165218 Applicant：公益財団法人レーザー技術総合研究所

Cited by examiner (7)

レーザー超音波探傷法、及びレーザー超音波探傷装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-011340 Applicant：トヨタ自動車株式会社
成分測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-047719 Applicant：横河電機株式会社
レーザ超音波検査装置およびこれを備えたシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-199465 Applicant：株式会社東芝

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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