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J-GLOBAL ID：202303009495598260

加工方法及び加工装置

Inventor： 久保田 章亀 ,  坪井 明男
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 熊本大学 ,  株式会社新菱
Agent (5)： 有吉 修一朗 ,  森田 靖之 ,  筒井 宣圭 ,  遠藤 聡子 ,  梶原 圭太
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2019023699
Publication number (International publication number)：2020131301
Patent number：7204105
Application date： Feb. 13, 2019
Publication date： Aug. 31, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】 光透過性を有する金属酸化物で構成された加工部材を被加工物と接触させ、接触部位に水またはアルカリ性溶液を含有するオゾンガスを供給すると共に、前記加工部材の前記被加工物と接触する面とは反対の面側から紫外光を同被加工物に照射しながら、前記加工部材を前記被加工物に接触させた状態で変位させる工程を備えるトライボケミカル反応による加工方法であって、 前記被加工物は、GaNからなり、前記紫外光は、365nmの波長であって、照度10mW/cm2以上を有すると共に、前記紫外光は、波長365nm以下のものを含む 加工方法。

IPC (3)：

B24B 1/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  C30B 29/38 ( 200 6.01)

FI (5)：

B24B 1/00 Z ,  B24B 1/00 A ,  H01L 21/304 621 B ,  H01L 21/304 622 W ,  C30B 29/38 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 加工方法及び加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2018-057261   Applicant：国立大学法人熊本大学, 株式会社新菱
• 平坦化方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-271384   Applicant：株式会社荏原製作所
• 加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-068021   Applicant：国立大学法人熊本大学
• 加工方法及び加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-266464   Applicant：国立大学法人熊本大学