特許
J-GLOBAL ID：200903013193041310

光干渉トモグラフィー装置,光形状計測装置

発明者：
川西 哲也

川西 哲也 について

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坂本 高秀

坂本 高秀 について

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山本 剛裕

山本 剛裕 について

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千葉 明人

千葉 明人 について

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土屋 昌弘

土屋 昌弘 について


出願人/特許権者：
独立行政法人情報通信研究機構

独立行政法人情報通信研究機構 について


代理人 (1件)： 廣瀬 隆行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-189902
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025202
出願日： 2007年07月20日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
要約：
【課題】 本発明は,掃引速度が高いOCT装置や,そのようなOCT装置を用いた光形状計測装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 上記課題は,光周波数コム発生器などを具備する多波長光源(2)と,前記多波長光源(2)からの光が入力する,光単側波帯変調器を具備する光周波数掃引器(3)と,前記光周波数掃引器(3)からの光が測定対象(4)に照射され,前記測定対象(4)から出力された光を検出する光検出部(5)と,を具備する光干渉トモグラフィー装置(1),及びそのような光干渉トモグラフィー装置を具備する光形状計測装置などにより解決される。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
多波長光源(2)と, 前記多波長光源(2)からの光が入力する,光単側波帯変調器を具備する光周波数掃引器(3)と, 前記光周波数掃引器(3)からの光が測定対象(4)に照射され,前記測定対象(4)から出力された光を検出する光検出部(5)と, を具備する光干渉トモグラフィー装置(1)。
IPC (3件)：
G01N 21/17 ,  G01N 21/39 ,  G01N 21/01
FI (3件)：
G01N21/17 620 ,  G01N21/39 ,  G01N21/01 D
Fターム (6件)：
2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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