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J-GLOBAL ID：201902283250192004   整理番号：19A1375269

光電子ホログラフィーによる半導体中の不純物の3D原子イメージング

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著者 (12件)： 筒井一生 (東京工大) ,  松下智裕 (高輝度光科学研究セ) ,  名取鼓太郎 (東京工大) ,  小川達博 (東京工大) ,  室隆桂之 (高輝度光科学研究セ) ,  森川良忠 (大阪大) ,  星井拓也 (東京工大) ,  角嶋邦之 (東京工大) ,  若林整 (東京工大) ,  林好一 (名古屋工大) ,  松井文彦 (岡崎国立共同研究機構 分子科研) ,  木下豊彦 (高輝度光科学研究セ)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10p-W933-7  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 半導体への不純物ドーピングは、普遍的重要技術といえる。その課題のひとつに、ドーパントの高濃度活性化がある。ドーパント原子は単独で特定の結晶格子サイトを置換することで電気的に活性化するが、クラスター化などにより異なる原子配置をとると不活性にな...【本文一部表示】

シソーラス用語： *ホログラフィー ,  ドーピング ,  *不純物準位 ,  ドーパント ,  *X線光電子スペクトル ,  *ホログラム ,  *原子配列
準シソーラス用語： *光電子ホログラフィー ,  三次元イメージング

分類 (1件)： 不純物・欠陥の電子構造  (BM02100I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光電子ホログラフィー ,  不純物 ,  3D ,  原子 ,  イメージング