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文献
J-GLOBAL ID：200902176453380338
整理番号：02A0849697 1,3-ジシラブタンをCソースに用いた微結晶Si1-xCx薄膜の作製
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岡林尚志
(東京工大 大学院)
, 東京工大 大学院 について
八木修平
(東京工大 大学院)
, 東京工大 大学院 について
阿部克也
(東京工大 大学院)
, 東京工大 大学院 について
山田明
(東京工大 大学院)
, 東京工大 大学院 について
小長井誠
(東京工大 大学院)
東京工大 大学院 について
資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
応用物理学会学術講演会講演予稿集 について
巻： 63rd 号： 2 ページ： 833 発行年： 2002年09月24日
JST資料番号： Y0055A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*炭化ケイ素
,...
炭化ケイ素 について
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体薄膜
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BK14040E)
半導体薄膜 について
物質索引 (1件)：
物質索引
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
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1,3-ジシラブタン
1,3-ジシラブタン について
タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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ソース
, ソース について
薄膜
, 薄膜 について
作製
作製 について
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