特許
J-GLOBAL ID：201103018966505729

半導体装置およびその製造方法

発明者：
黛 哲

黛 哲 について

, 
若林 整

若林 整 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-140930
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287760
出願日： 2009年06月12日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：
【課題】チャネル領域に印加される応力分布のピークとソース領域近傍に発生する電位分布のピークの位置を最適化することで、キャリア速度を向上させて飽和電流特性を向上させることを可能にする。【解決手段】半導体基板11に形成されたチャネル領域12と、前記チャネル領域12の一方側に形成されたソース領域19と、前記チャネル領域12の他方側に形成されたドレイン領域20と、前記チャネル領域12上にゲート絶縁膜13を介して形成されたゲート電極14と、前記チャネル領域12に応力を印加する第1、第2応力導入層21、23を有し、前記チャネル領域12と前記ソース領域19とのpn接合境界と、前記チャネル領域12と前記ドレイン領域20とのpn接合境界の間に、前記ソース領域19側の応力分布のピークと前記ドレイン領域20側の応力分布のピークが位置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板に形成されたチャネル領域と、 前記チャネル領域の一方側に形成されたソース領域と、 前記チャネル領域の他方側に形成されたドレイン領域と、 前記チャネル領域上にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、 前記チャネル領域に応力を印加する応力導入層を有し、 前記チャネル領域と前記ソース領域とのpn接合境界と、前記チャネル領域と前記ドレイン領域とのpn接合境界の間に、前記ソース領域側の応力分布のピークと前記ドレイン領域側の応力分布のピークが位置する 半導体装置。
IPC (5件)：
H01L 29/78 ,  H01L 21/768 ,  H01L 23/522 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49
FI (3件)：
H01L29/78 301S ,  H01L21/90 K ,  H01L29/58 G
Fターム (114件)：
4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB27 ,  4M104BB30 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD33 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD75 ,  4M104DD84 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104FF14 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  5F033HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH21 ,  5F033HH25 ,  5F033HH26 ,  5F033HH27 ,  5F033HH30 ,  5F033HH31 ,  5F033HH33 ,  5F033KK01 ,  5F033KK25 ,  5F033KK27 ,  5F033MM07 ,  5F033PP06 ,  5F033PP14 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033SS04 ,  5F033SS11 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033XX19 ,  5F140AA01 ,  5F140AC28 ,  5F140BA01 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BD12 ,  5F140BD13 ,  5F140BE07 ,  5F140BE09 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF07 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG04 ,  5F140BG09 ,  5F140BG10 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG27 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG34 ,  5F140BG36 ,  5F140BG40 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG54 ,  5F140BH07 ,  5F140BH14 ,  5F140BH27 ,  5F140BH49 ,  5F140BJ08 ,  5F140BK02 ,  5F140BK09 ,  5F140BK13 ,  5F140BK18 ,  5F140BK21 ,  5F140BK34 ,  5F140CB08 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC08 ,  5F140CE07 ,  5F140CE20 ,  5F140CF04
引用特許：
審査官引用 (15件)
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