特許
J-GLOBAL ID：201503029344398993
表面処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 鈴木 三義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-187000
公開番号（公開出願番号）：特開2013-031842
特許番号：特許第5725304号
出願日： 2012年08月27日
公開日（公表日）： 2013年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生した熱プラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に付着している有機物に接触させて、該有機物を材料から除去する表面処理方法であって、前記材料が、高分子電解質膜である表面処理方法。
IPC (8件)：
B01J 19/08 ( 200 6.01)
, C03C 23/00 ( 200 6.01)
, C04B 41/80 ( 200 6.01)
, H01L 21/306 ( 200 6.01)
, B08B 7/00 ( 200 6.01)
, B08B 3/08 ( 200 6.01)
, H01M 8/02 ( 200 6.01)
, H01M 8/10 ( 200 6.01)
B01J 19/08 E
, C03C 23/00 A
, C04B 41/80 Z
, H01L 21/306 F
, B08B 7/00
, B08B 3/08
, H01M 8/02 P
, H01M 8/10
