- 2014 - 2019 多機能融合・省電力エレクトロニクスのためのSn系IV族半導体の工学基盤構築
- 2015 - 2018 新規IV族系二次元物質の創製
- 2014 - 2015 機能融合デバイス構築に向けたSn系IV族半導体薄膜の材料設計
- 2010 - 2013 省電力/超高速ナノCMOSのための電子物性設計と高移動度チャネル技術の創生
- 2009 - 2011 シリコン系エンジニアリングサブストレート実現のための材料・物性・構造制御技術
- 2006 - 2010 シリコンナノエレクトロニクスの新展開に関する総括的研究
- 2006 - 2009 ナノシステム機能化High-kゲート/歪制御ゲルマニウムチャネル構造の創成
- 2006 - 2008 非熱平衡原子固溶プロセスに基づく超高速伸張歪Geチャネルの創成
- 2004 - 2006 超均一歪場の実現に向けたIV族系半導体ヘテロ歪結晶格子の変形制御
- 2005 - 2005 シリコンナノエレクトロニクスの新展開-ポストスケーリングテクノロジー
- 2003 - 2005 IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
- 2001 - 2004 単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
- 2000 - 2004 超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究
- 2001 - 2003 異種材料界面制御による超低抵抗コンタクトの開発と半導体/金属界面の原子直視研究
- 1999 - 2003 人工IV族半導体極微細構造デバイス製作のための原子精度要素プロセスの開発
- 2000 - 2002 その場透過電子顕微鏡による強誘電体薄膜の劣化ダイナミクスに関する研究
- 1999 - 2001 反応性エピタキシャル成長によるCoSi_2/Si(100)ヘテロ構造形成の研究
- 1997 - 1999 極薄ゲート酸化膜の原子層制御形成技術の開発
- 1996 - 1998 電子エネルギー損失分光法を用いた原子層CVDにおける反応メカニズムの研究
- 1996 - 1998 次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
- 1995 - 1996 トンネル分光法を用いたシリサイド/シリコン界面の評価と水素終端効果の研究
- 1994 - 1995 電子エネルギー損失分光法を用いた薄膜成長機構に与える水素原子の役割に関する研究
- 1994 - 1995 シリコンゲルマニウム量子井戸構造を用いた赤外発光素子の開発
- 1994 - 1994 電子エネルギー損失分光法を用いたフリーラジカルと半導体表面の相互作用の研究
- 1993 - 1993 電子エネルギー損失分光法を用いたフリーラジカルと半導体表面の相互作用の研究
- 1992 - 1993 エピタキシャル成長の動的素過程の時間分解測定法の開発と反応種の表面泳動の研究
- 1992 - 1993 パルスレーザー飛行時間法を用いたシリコン擬1次元キャリア系の量子輸送機構の研究
- 1990 - 1991 時間分解振動励起分光法の開発と半導体薄膜成長素過程の研究
- 1988 - 1989 固相界面反応を伴うシリコンヘテロエピタキシャル成長機構の解明
- 1986 - 1986 ゲート酸化薄膜の低温形成に関する研究
- 1985 - 1985 シリコンの低温エピタキシャル成長に関する基礎的研究
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