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J-GLOBAL ID：200902185576160625   整理番号：02A0151128

マグネトロンスパッタ法により作製したZnO膜の構造と組成

Structure and Composition of ZnO Films Prepared by Radio-Frequency Magnetron Sputtering.

著者 (8件)： 菅原智明 (北海道工技セ) ,  下野功 (北海道工技セ) ,  福田永 (室蘭工大) ,  辻野二朗 (北海道電力 総研) ,  本間工士 (北海道電力 総研) ,  西野元一 (北海道職業能力開発大) ,  吉野正樹 (北海道職業能力開発大) ,  野村滋 (室蘭工大)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 122-A  号： 1  ページ： 100-106  発行年： 2002年01月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： RFマグネトロンスパッタリング法を用いて石英ガラス基板上に生...

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (16件)：

• BACHARI, E. M. Structural and Optical Properties of Sputtered ZnO Films. Thin Solid Films. 1999, 348, 1/2, 165-172
• LEE, Y. E. Microstructural Evolution and Preferred Orientation Change of Radio-Frequency-Magnetron Sputtered ZnO Thin Films. J. Vac. Sci. Technol. 1996, 14, 3, 1943-1948
• AITA, C. R. The Effect of O_2 on Reactively Sputtered Zinc Oxide. J. Appl. Phys. 1980, 51, 10, 5533-5536
• SUBRAMANYAM, T. K. Effect of Substrate Temperature on the Physical Properties of DC Reactive Magnetron Sputtered ZnO Films. Optical Materials. 1999, 13, 2, 239-247
• KIM, K. K. The Grain Size Effects on the Photoluminescence of ZnO/α -Al_2O_3 Grown by Radio-Frequency Magnetron Sputterring. J. Appl. Phys. 2000, 87, 7, 3573-3575

タイトルに関連する用語 (4件)： マグネトロンスパッタ法 ,  作製 ,  ZnO ,  組成