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J-GLOBAL ID:200902185576160625   整理番号:02A0151128

マグネトロンスパッタ法により作製したZnO膜の構造と組成

Structure and Composition of ZnO Films Prepared by Radio-Frequency Magnetron Sputtering.
著者 (8件):
資料名:
巻: 122-A  号:ページ: 100-106  発行年: 2002年01月01日 
JST資料番号: S0808A  ISSN: 0385-4205  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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RFマグネトロンスパッタリング法を用いて石英ガラス基板上に生...
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固体デバイス材料 
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