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J-GLOBAL ID：200902199383548694   整理番号：02A0734395

電子-サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングにより作製した炭素薄膜の電子エネルギー損失分光法

Electron Energy-Loss Spectroscopy of Carbon Films Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Sputtering.

著者 (4件)： MUROOKA Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TANAKA N (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HIRONO S (NTT AFTY Corp., Tokyo, JPN) ,  HIBINO M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 43  号： 8  ページ： 2092-2096  発行年： 2002年08月20日 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記(ECR)スパッタリングにより作製した保護性硬質炭素膜は...

シソーラス用語： ECRプラズマ ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (12件)：

• UMEMURA, S. Philos. Mag. A. 1996, 74, 1143-1157
• HIRONO, S. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 425-427
• EGERTON, R. F. Electron energy-loss spectroscopy in the electron microscope. 1996, 154-165
• BERGER, S. D. Philos. Mag. Lett. 1988, 57, 285-290
• HIRONO, S. IEEE Trans. Magn. 1998, 34, 1729-1731

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子 ,  サイクロトロン共鳴 ,  プラズマスパッタリング ,  作製 ,  炭素薄膜 ,  電子エネルギー損失分光法