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J-GLOBAL ID：200902248249676032   整理番号：09A0910427

HfドープNb合金膜を使って作製した陽極酸化薄膜キャパシタの損失特性

Loss Properties of Anodized Thin-Film Capacitors Fabricated Using Hf-Doped Nb Alloy Films

著者 (7件)： SHIBATA Tomoharu (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  KIMIZAKI Hidefumi (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  SHINKAI Satoko (Kyushu Inst. of Technol., Fukuoka, JPN) ,  SASAKI Katsutaka (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  YANAGISAWA Hideto (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  YAMANE Misao (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  ABE Yoshio (Kitami Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48  号： 8,Issue 1  ページ： 085504.1-085504.4  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Nb陽極酸化薄膜キャパシタの損失特性を改善するため,Nb-Hf合金膜とNb-Hf陽極薄膜キャパシタを調製した。一例として,酸化物厚が160nmのNb-Hf(7at.%)陽極酸化薄膜キャパシタを純粋Nbのものと比較した。Nb陽極酸化キャパシタの損失と漏れ電流の特性はHfドーピングによって著しく改善され,ほぼ同じ容量密度と相対誘電率は保たれた。また,Nb-Hf(7at.%)陽極酸化キャパシタの損失特性の改善は,Auger電子分光法の深さ分析で決定したように,下部酸化物がなく,Nb₂O₅とHfO₂の均一な複合酸化物が形成されて生じることが明らかになった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ニオブ ,  *酸化ニオブ ,  ハフニウム ,  ドーピング ,  *ニオブ合金 ,  ハフニウム含有合金 ,  金属薄膜 ,  誘電体薄膜 ,  *酸化ハフニウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *薄膜コンデンサ ,  *誘電正接 ,  *漏れ電流 ,  静電容量 ,  誘電率 ,  Augerスペクトル ,  アノード酸化 ,  酸化物 ,  複合酸化物
準シソーラス用語： 陽極酸化

分類 (2件)： 誘電体一般  (BM05010F) ,  LCR部品  (NA05030D)

引用文献 (16件)：

• G. D. Wilk, R. M. Wallance, and J. M. Anthony: J. Appl. Phys.89(2001)5243.
• R. M. Fleming, D. V. Lang, C. D. W. Jones, M. L. Steigerwald, D. M. Murphy, G. B. Alers, Y. H. Wong, R. B. van Dover, J. R. Kwo, and A. M. Sergent: J. Appl. Phys.88(2000)850.
• J. Y. Zhang and I. W. Boyd: Appl. Surf. Sci.186(2002)40.
• T. Onozuka, H. Sasaki, N. Mikuni, S. Shinkai, K. Sasaki, M. Yamane, and Y. Abe: Jpn. J. Appl. Phys.44(2005)6731.
• N. Mikuni, T. Shibata, S. Shinkai, K. Sasaki, H. Yanagisawa, M. Yamane, and Y. Abe: Jpn. J. Appl. Phys.46(2007)5249.

タイトルに関連する用語 (7件)： HF ,  ドープ ,  Nb合金 ,  作製 ,  陽極酸化 ,  薄膜キャパシタ ,  損失