特許
J-GLOBAL ID：200903000714413495
電子線を通す窓
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314494
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156499
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、2つの空間の間の分離素子として機能する、電子線を通す窓、及び、このような窓を製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、電子線を通しキャリヤ基板から分離された箔(1、10、300a)と、動作状態において電子線を通す箔の周辺領域を支持し、箔の材料の線熱膨張係数と適合する線熱膨張係数を有する材料から成る保持素子(2、300b)とを有する、電子線を通す窓に関わる。本発明は、更に、電子線を通す窓を製造する方法、及び、このような窓を有するX線装置に関わる。
請求項（抜粋）：
電子線を通し、キャリヤ基板から分離される箔と、動作状態において電子線を通す上記箔の周辺領域を支持する保持素子とを有する、電子線を通す窓であって、上記保持素子は、上記箔の材料の線熱膨張係数に適合された線熱膨張係数を有する材料から成る窓。
IPC (5件)：
G21K 5/00
, G21K 5/02
, G21K 5/04
, G21K 5/08
, H01J 35/18
G21K 5/00 W
, G21K 5/02 X
, G21K 5/04 E
, G21K 5/08 X
, H01J 35/18
