特許
J-GLOBAL ID：200903001043716630

光学系、露光装置、及び光学特性の調整方法

発明者：
遠藤 竜彦

遠藤 竜彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-092588
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266511
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】光学部材の損傷の恐れがなく、かつ再現性のある状態で、非回転対称な収差の補正を行う。【解決手段】凹面鏡22を有する投影光学系において、凹面鏡22に当接可能な状態で配置されたプローブ27aと、粗動マイクロメータ26Aによって板ばね部28aを駆動することによってプローブ27aを凹面鏡22の凸部22aに当接させる方向に駆動する粗動機構と、プローブ27aが凸部22aに当接した後、微動マイクロメータ26Bによって板ばね部28bを駆動することによって、プローブ27aが凸部22aに加える力を制御する微動機構とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光学部材を有する光学系において、 前記光学部材から離れて配置され、前記光学部材に当接可能な当接部材と、 前記当接部材を前記光学部材に当接させる方向に駆動する第1駆動機構と、 前記当接部材が前記光学部材に当接した後、前記当接部材が前記光学部材に加える力を制御する第2駆動機構とを備えたことを特徴とする光学系。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (3件)：
H01L21/30 516A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D
Fターム (6件)：
5F046BA03 ,  5F046CB03 ,  5F046CB25 ,  5F046CB27 ,  5F046DA13 ,  5F046DB14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (15件)
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