特許
J-GLOBAL ID:200903001993761860
電子源基板および該電子源基板を用いた画像表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高野 明近 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-358111
公開番号(公開出願番号):特開2001-319567
出願日: 2000年11月24日
公開日(公表日): 2001年11月16日
要約:
【要約】【課題】 表面伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置の電子源基板に関し、高精度,低コストの電子源基板を実現する。【解決手段】 ガラスもしくはセラミックス等の基板上に複数の対の素子電極を配置し、各対の素子電極間に導電性薄膜の材料を含有した溶液の液滴を噴射して導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子群を形成した電子源基板において、電子源基板45の表面伝導型電子放出素子53群を形成した面より裏面の表面粗さを粗くすることにより、高精度な表面伝導型電子放出素子53群のパターンを形成できるとともに、電子源基板45の製造コストを低下させることができる。
請求項(抜粋):
基板上の複数対の各素子電極間に導電性薄膜を構成する材料を含有する溶液の液滴が噴射付与され、該導電性薄膜による表面伝導型電子放出素子群が形成された電子源基板を製造する電子源基板製造装置において、該電子源基板製造装置は、前記液滴の噴射付与領域が、前記表面伝導型電子放出素子群が形成される領域よりも広いことを特徴とする電子源基板製造装置。
IPC (4件):
H01J 9/02
, H01J 1/316
, H01J 29/04
, H01J 31/12
FI (4件):
H01J 9/02 E
, H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 E
Fターム (10件):
5C031DD17
, 5C031DD19
, 5C036EE03
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG02
, 5C036EG12
, 5C036EG33
, 5C036EH08
引用特許:
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