特許
J-GLOBAL ID：200903002195914697

ダイシングシート、その製造方法、および電子部品の製造方法

発明者：
高津 知道

高津 知道 について

, 
齊藤 岳史

齊藤 岳史 について


出願人/特許権者：
電気化学工業株式会社

電気化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 小林 義教 ,  園田 吉隆 ,  奥野 彰彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-324496
公開番号（公開出願番号）：特開2009-147201
出願日： 2007年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：
【課題】 ピックアップ時のダイシングシートとダイアタッチフィルムとの間の剥離容易性を保持しつつ、ダイシングシートとリングフレームとの接着特性を改善する。【解決手段】電子部品を製造するにあたり、リングフレームに貼り合わされ、ウエハを固定し、これをダイシングするためのダイシングシートであって、基材シートと、該基材シートに積層された粘着剤層と、該粘着剤層におけるリングフレーム貼り合わせ予定領域に積層されたリングフレーム用粘着剤層とを有し、リングフレーム用粘着剤層の粘着力が、前記粘着剤層の粘着力よりも高いことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子部品を製造するにあたり、リングフレームに貼り合わされ、ウエハを固定し、これをダイシングするためのダイシングシートであって、基材シートと、該基材シートに積層された粘着剤層と、該粘着剤層におけるリングフレーム貼り合わせ予定領域に積層されたリングフレーム用粘着剤層とを有し、リングフレーム用粘着剤層の粘着力が、前記粘着剤層の粘着力よりも高いことを特徴とするダイシングシート。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  C09J 7/02
FI (2件)：
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z
Fターム (15件)：
4J004AA04 ,  4J004AA05 ,  4J004AA06 ,  4J004AA10 ,  4J004AA11 ,  4J004AA12 ,  4J004AA13 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004CA03 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004DB02 ,  4J004FA05
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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