特許
J-GLOBAL ID:200903002382804129
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-291147
公開番号(公開出願番号):特開2007-103646
出願日: 2005年10月04日
公開日(公表日): 2007年04月19日
要約:
【目的】寄生pnpトランジスタによる有害な寄生電流を低減すると共に、ハイサイド側トランジスタにIGBT構造を内在させない構成とすることにより、発熱が少なく、熱破壊が起きにくい半導体装置の提供。【構成】p形半導体基板1表面に、それぞれ離間する第1p+領域2とn-ウエル領域3と、該n-ウエル領域3の表面層にそれぞれ離間する第2p+領域14と第3p+領域6とp領域4と、該p領域4の表面層に配置される第4p+領域7と、前記第2p+領域14と前記第3p+領域6に挟まれる第1n+領域5を備え、前記第1p+領域2表面に接するGND8と、前記第3p+領域6と前記p領域4に挟まれた前記n-ウエル領域3表面に絶縁膜を介して配置されるゲート電極11と、前記第2p+領域14と前記第3p+領域6と前記第1n+領域5とに共通に接するVDH9と、前記第4p+領域7表面に接するDO10とで構成される高電位側MOSFETを備える半導体装置とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1導電形半導体基板表面に、それぞれ選択的に離間して配置される第1導電形の第1領域と第2導電形の第2領域と、該第2領域の表面層にそれぞれ選択的に離間して配置される第1導電形の第3領域と第1導電形の第4領域と第1導電形の第5領域と、該第5領域の表面層に配置される第1導電形の第6領域と、前記第3領域と前記第4領域に挟まれる第2導電形の第7領域を備え、前記第1領域に接するグランド端子側電極と、前記第4領域と前記第5領域に挟まれた前記第2領域表面に絶縁膜を介して配置されるゲート電極と、前記第3領域と前記第4領域と前記第7領域とに共通に接する高電位端子側電極と、前記第6領域に接する出力端子側電極とで構成される高電位側MOSFETを備えることを特徴とする半導体装置。
IPC (4件):
H01L 21/823
, H01L 27/088
, H01L 29/78
, H01L 27/08
FI (4件):
H01L27/08 102B
, H01L29/78 301K
, H01L29/78 301S
, H01L27/08 331A
Fターム (36件):
5F048AA03
, 5F048AB07
, 5F048AB10
, 5F048AC01
, 5F048AC03
, 5F048BC03
, 5F048BC07
, 5F048BE02
, 5F048BE03
, 5F048BE09
, 5F048BF16
, 5F048BF18
, 5F048BG11
, 5F048BG14
, 5F048CC06
, 5F048CC10
, 5F048CC13
, 5F140AA17
, 5F140AA24
, 5F140AA34
, 5F140AB03
, 5F140AB06
, 5F140AB07
, 5F140AC01
, 5F140AC21
, 5F140BA01
, 5F140BH17
, 5F140BH22
, 5F140BH30
, 5F140BH43
, 5F140BH45
, 5F140BH47
, 5F140CB04
, 5F140CB08
, 5F140DA03
, 5F140DA08
引用特許:
出願人引用 (1件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334358
出願人:富士電機株式会社
審査官引用 (12件)
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-183402
出願人:富士電機ホールディングス株式会社
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半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-269041
出願人:シャープ株式会社
-
半導体装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-334358
出願人:富士電機株式会社
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