特許
J-GLOBAL ID：200903003363429283

多軸慣性駆動型アクチュエータ

発明者：
三田 信

三田 信 について

, 
年吉 洋

年吉 洋 について

, 
高橋 一浩

高橋 一浩 について


出願人/特許権者：
独立行政法人 宇宙航空研究開発機構

独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 について


代理人 (5件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  平野 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-151683
公開番号（公開出願番号）：特開2008-306848
出願日： 2007年06月07日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】小型軽量で多次元方向に大きい力で駆動可能な慣性駆動型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】慣性駆動型アクチュエータ(10)は、外枠(11)と、外枠の内側の内枠(12)と、内枠の内側の可動重り(15)と、外枠と前記内枠を結合する外側支持バネ(13)と、内枠と可動重りを結合する内側支持バネ(14)と、可動重りと間隔をおいて可動重りの4方に配置された2対のくし歯型の駆動電極(16,17)と、駆動電極と可動重り又は内枠との間に電圧を印加する電源回路(30)とを備え、駆動電極と可動重り又は内枠との間に電圧を印加して、可動重り又は内枠を静電引力により駆動電極に引き付け、慣性力により慣性駆動型アクチュエータ全体を移動させる。くし歯型の駆動電極により、大きな駆動力を得ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
可動重りと、 前記可動重りを多次元方向に駆動するため、第1の層に配置された駆動構造と、 前記可動重りを多次元方向に移動可能に支持するため、第2の層に配置された支持構造と、を備え、 前記駆動構造は、少なくとも2対のくし歯型の駆動電極を含み、 前記駆動電極に電源から電圧を印加して、前記可動重りを静電引力により前記駆動電極に引き付け、慣性力によりアクチュエータ全体を移動させることを特徴とする慣性駆動型アクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 1/00 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00
FI (3件)：
H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
Fターム (12件)：
3C081BA07 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA23 ,  3C081DA03 ,  3C081DA26 ,  3C081DA45 ,  3C081EA41
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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