特許
J-GLOBAL ID:200903055670020406
感放射線性樹脂組成物
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
久保山 隆
, 中山 亨
, 榎本 雅之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-189503
公開番号(公開出願番号):特開2006-048017
出願日: 2005年06月29日
公開日(公表日): 2006年02月16日
要約:
【課題】波長400nmにおいて高い透過率を有する硬化樹脂パターンを形成しうる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】不飽和カルボン酸から導かれる構成単位、硬化性としてオキセタニル基から導かれる構成単位とを有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)、低級脂肪酸エステル系溶剤(C)およびエポキシ基を有するシランカップリング剤(D)を含む感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
硬化性を有するアルカリ可溶性樹脂(A)、キノンジアジド化合物(B)、溶剤(C)およびシランカップリング剤(D)を含む感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/023
, G03F 7/004
, G03F 7/075
, H01L 51/50
, H05B 33/22
FI (5件):
G03F7/023
, G03F7/004 501
, G03F7/075 501
, H05B33/14 A
, H05B33/22 Z
Fターム (18件):
2H025AA00
, 2H025AA03
, 2H025AA06
, 2H025AA11
, 2H025AB14
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BD23
, 2H025BE01
, 2H025CB16
, 2H025CB30
, 2H025CB43
, 2H025CC03
, 2H025FA29
, 3K007AB03
, 3K007DB03
, 3K007EB00
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
特許第2933879号公報 1頁右欄22行目-25行目、3頁左欄13行目-14行目
審査官引用 (16件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)
-
三新化学工業(株)_熱潜在性重合開始剤, 20110114
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