特許
J-GLOBAL ID：200903004723112231
濃度フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185117
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015412
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 透過率の局所的な偏りを無くすことができ、且つ仕上がり寸法誤差の透過率誤差への反映を抑制できる。【解決手段】 光を透過させる透光部と光を遮蔽する遮光部を有し、透過する光量が周辺部を除く領域で100%、周辺部で100%から0%へ徐々に低下する濃度フィルタであって、周辺部に、透光体下地43上に二つの遮光パターン44又は遮光体下地41上に二つの透光パターン42を有する基本セル40を規則的に並べて配置し、設計透過率が0〜50%の領域では透光パターン面積と該基本セル面積との面積比率を設計透過率と等しく設定し、設計透過率が50〜100%の領域では遮光パターン面積と該基本セル面積との面積比率を(1-設計透過率)と等しく設定してなる。
請求項（抜粋）：
光を透過させる透光部と光を遮蔽する遮光部を有し、透過する光量が位置に対して変化する濃度フィルタであって、透光体下地上に二つの遮光パターン又は遮光体下地上に二つの透光パターンを有する基本セルを規則的に並べて配置し、設計透過率が50%以内の領域では透光パターン面積と該基本セル面積との面積比率を設計透過率と等しく設定し、設計透過率が50%以上の領域では遮光パターン面積と該基本セル面積との面積比率を(1-設計透過率)と等しく設定してなることを特徴とする濃度フィルタ。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 515 D
, G03F 7/22 H
, G03F 7/22 Z
, H01L 21/30 514 C
2H097AA11
, 2H097BB01
, 2H097EA03
, 2H097GB01
, 2H097JA01
, 2H097LA10
, 2H097LA12
, 5F046BA03
, 5F046CB05
, 5F046CB08
, 5F046CB23
, 5F046DA01
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (13件)
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