特許
J-GLOBAL ID：200903004937928123
ガラス基板の検査方法及び検査装置、並びに表示用パネルの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-171605
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201887
出願日： 2004年06月09日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】ガラス基板の表面の異物と内部の異物とを弁別する。【解決手段】光学系10の投光系は、検査光をガラス基板1へ斜めに照射する。表面検査において、焦点調節制御回路41は、反射光がCCDラインセンサー16の受光面の中心位置で受光されるように焦点調節機構40を駆動して、光学系10の焦点位置をガラス基板1の表面に合わせる。内部検査において、CPU70は、表面検査で収集したガラス基板1の表面への焦点調節データに基づいてガラス基板1の内部への焦点調節データを作成し、焦点調節制御回路41は、内部への焦点調節データに従って焦点調節機構40を駆動して、光学系10の焦点位置をガラス基板1の内部に合わせる。信号処理回路60は、CCDラインセンサー20が表面検査で受光した散乱光と内部検査で受光した散乱光との強度の違いから、ガラス基板1の表面の異物と内部の異物とを弁別する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査光をガラス基板へ斜めに照射し、検査光がガラス基板の表面又は内部の異物により散乱された散乱光を受光し、受光した散乱光の強度からガラス基板の表面又は内部の異物を検出するガラス基板の検査方法であって、
光学系の焦点位置をガラス基板の表面に合わせて散乱光を受光する第1の検査工程と、
光学系の焦点位置をガラス基板の内部に合わせて散乱光を受光する第2の検査工程とを含み、
第1の検査工程で受光した散乱光と第2の検査工程で受光した散乱光との強度の違いから、ガラス基板の表面の異物と内部の異物とを弁別することを特徴とするガラス基板の検査方法。
IPC (3件)：
G01N21/958
, G01M11/00
, G01N21/93
G01N21/958
, G01M11/00 T
, G01N21/93
2G051AA84
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB06
, 2G051AB07
, 2G051AC01
, 2G051BA02
, 2G051BB02
, 2G051BC10
, 2G051CA03
, 2G051CB08
, 2G051CD04
, 2G051CD06
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EB05
, 2G086EE10
, 2H088FA11
, 2H088FA18
, 2H088HA01
, 2H088MA20
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (11件)
全件表示
前のページに戻る
