特許
J-GLOBAL ID：200903005165064701

剥離剤組成物および剥離方法

発明者：
小糸 達也

小糸 達也 について

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平野 啓二

平野 啓二 について

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青木 秀充

青木 秀充 について

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富盛 浩昭

富盛 浩昭 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-196512
公開番号（公開出願番号）：特開2002-099101
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】【課題】 銅等の腐食しやすい金属の腐食を防止しつつレジスト膜やエッチング残渣を効果的に剥離除去することができ、製品安全性に優れ、生物処理が可能で廃水処理が容易な剥離剤組成物を提供すること。【解決手段】 (a)防食剤、(b)剥離剤および(c)溶媒を含む剥離剤組成物であって、(a)防食剤が、窒素原子を含む六員環を有する複素環式化合物であることを特徴とする剥離剤組成物。
請求項（抜粋）：
(a)防食剤、(b)剥離剤および(c)溶媒を含む剥離剤組成物であって、(a)防食剤が、窒素原子を含む六員環を有する複素環式化合物であることを特徴とする剥離剤組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/308 ,  C09D 9/00
FI (5件)：
G03F 7/42 ,  H01L 21/308 G ,  C09D 9/00 ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/302 N
Fターム (18件)：
2H096AA25 ,  2H096CA05 ,  2H096HA23 ,  2H096LA03 ,  4J038RA02 ,  4J038RA04 ,  4J038RA05 ,  4J038RA10 ,  4J038RA12 ,  5F004AA14 ,  5F004DB26 ,  5F004DB27 ,  5F043AA40 ,  5F043BB27 ,  5F043CC16 ,  5F043GG10 ,  5F046MA02 ,  5F046MA17
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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