特許
J-GLOBAL ID：200903005458137258
回転ブレード交換時期判定方法および切削装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-117924
公開番号（公開出願番号）：特開2005-303057
出願日： 2004年04月13日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】回転ブレードの限界を判定する判定基準値を安全値に設定せざるを得ないので、回転ブレードを十分有効利用することができない。摩耗量を精密に測定して限界を判断することによって回転ブレードを有効利用しようとする場合、測定回数が多くなり加工効率が低下する。【解決手段】目安となる規定の判定基準値を設定する。回転ブレードの限界加工長が被切削物の総加工長よりも長いときは、被切削物または所定数の切削線を加工するごとに回転ブレードの摩耗量を直接実測して摩耗量のデータを得る。上記限界加工長が上記総加工長以下のときは、測定加工長と摩耗率を設定して測定ごとに測定加工長を修正再設定しながら摩耗量のデータを得る。そして、測定ごとに摩耗量のデータから新しい限界加工長を計算して判定基準値を再設定する。加工長が判定基準値に到達したら加工を中断して回転ブレードを交換する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加工が可能な限界摩耗量まで回転ブレードが摩耗する限界加工長に実際の加工長が到達したときに回転ブレードの交換時期と判定する回転ブレード交換時期判定方法において、規定の限界加工長を判定基準値として設定する工程と、予め定められた1以上の被切削物または切断線の加工を終了するごとに回転ブレードの摩耗量を測定して摩耗量のデータを記録する工程と、前記記録された摩耗量のデータに基づいて最小二乗法によって限界加工長を計算し前記計算された限界加工長を前記判定基準値として再設定する工程と、実際の加工長が前記再設定された判定基準値に到達したときに回転ブレードの交換時期と判定する工程と、を含んでなる回転ブレード交換時期判定方法。
IPC (4件)：
H01L21/301
, B23Q17/09
, B23Q17/24
, B26D7/28
H01L21/78 F
, B23Q17/09 B
, B23Q17/24 B
, B26D7/28
3C021KA02
, 3C029AA24
, 3C029AA40
, 3C029DD08
, 3C029DD20
, 3C058AA03
, 3C058AA19
, 3C058AC02
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA17
出願人引用 (13件)
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ブレード摩耗補償方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-085928
出願人：株式会社ディスコ
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特許第2879445号公報(第4頁-第5頁)
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ダイシング装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-335591
出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
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審査官引用 (5件)
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