特許
J-GLOBAL ID:200903005981144020

変位、歪および力センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山下 昭彦 ,  岸本 達人 ,  星野 哲郎
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-513424
公開番号(公開出願番号):特表2009-539116
出願日: 2007年05月29日
公開日(公表日): 2009年11月12日
要約:
変位、歪、および/または、力センサアセンブリ(10、110)は、X軸に沿った変位、歪、および/または、力の測定を促進する異方性剛性を有する一方で、望まれないYおよびZ軸に沿った変位、歪、および/または、力およびX、YおよびZ軸の回りの回転に起因するエラーが抑制する搭載構造(12)を有する。X軸に沿った軸方向の変位に応答するように構成されている台座(30、130)は、搭載構造(12)のX軸上の中央に配置されており、変位または歪センサ(38)は変位、歪および/または力の測定を提供するために台座(30)へ連結されている。コンタクトパッド(14、114)は、上記変位および/または歪センサアセンブリが適用構造へ固定されることが可能なように、上記搭載構造のX軸の両端に形成されている。
請求項(抜粋):
台座(30、30 ́、130)と、 前記台座の両側から伸張する第一ビーム(18、18 ́、118)および第二ビーム(18、18 ́、118)であって、前記第一および第二ビームは前記ビーム間のギャップ(20)を規定し、前記台座(30、30 ́、130)は前記ギャップを横切って伸張しており;前記ビームはセンサアセンブリの軸に沿って伸張し;一対のコンタクトパッド間の前記軸に沿って付与される変位、歪、および力への異方性応答性を有するために選択的に構成されているビームと; 前記台座(30、30 ́、130)から離れた前記ビームの端部において前記各ビーム(18、18 ́、118)に稼動可能に接続されており;適用物(A)の表面への前記センサアセンブリ(10、110)の取り付けに適応しているコンタクトパッド(14、114)と; 前記台座(30、30 ́、130)へ連結されており;少なくとも1つのセンサ(38)を有しており、前記軸に沿って付与される変位、歪または力を代表する出力信号を発するセンサモジュール(138)とを有するセンサアセンブリ(10、110)。
IPC (2件):
G01B 7/16 ,  G01L 1/00
FI (2件):
G01B7/16 ,  G01L1/00 L
Fターム (16件):
2F063AA26 ,  2F063BA14 ,  2F063BA15 ,  2F063BA20 ,  2F063BA21 ,  2F063CA08 ,  2F063CB20 ,  2F063CC08 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063EC05 ,  2F063EC06 ,  2F063EC13 ,  2F063GA00 ,  2F063HA00 ,  2F063JA09
引用特許:
審査官引用 (27件)
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