特許
J-GLOBAL ID:200903006260325438

アルカリ現像可能な感光性樹脂及びそれを含む感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順 ,  大宅 一宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-302896
公開番号(公開出願番号):特開2008-088394
出願日: 2006年11月08日
公開日(公表日): 2008年04月17日
要約:
【課題】基板との密着性、現像残渣の改善、顔料分散性、耐熱性のバランスのとれた感光性樹脂を提供する。【解決手段】長鎖のモノ(メタ)アクリレート(a)5〜30モル%と、トリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格から選択される少なくとも1つの骨格を有するモノ(メタ)アクリレート(b)5〜65モル%と、エポキシ基を含有するラジカル重合性化合物(c)30〜80モル%と、前記(a)、(b)及び(c)と共重合し得る他のラジカル重合性化合物(d)1〜30モル%とをその合計が100モル%となる量で共重合させ、得られた共重合物に含まれるエポキシ基の5〜100%に不飽和一塩基酸(e)を付加させ、前記(e)成分を付加させたときに生成した水酸基の5〜100%に多塩基酸無水物(f)を付加させて得られる感光性樹脂。【選択図】なし
請求項(抜粋):
下記式(1)〜(3)
IPC (5件):
C08F 8/14 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  G02B 5/20 ,  C08F 290/00
FI (5件):
C08F8/14 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R ,  G02B5/20 101 ,  C08F290/00
Fターム (102件):
2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC34 ,  2H025BC37 ,  2H025BC43 ,  2H025CA01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC12 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H048BA11 ,  2H048BA47 ,  2H048BA48 ,  4J100AB02S ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL10P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA15H ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16H ,  4J100BC04H ,  4J100BC12R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA29 ,  4J100HA11 ,  4J100HA61 ,  4J100HA62 ,  4J100HC28 ,  4J100HC29 ,  4J127AA01 ,  4J127AA03 ,  4J127BB041 ,  4J127BB081 ,  4J127BB221 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC151 ,  4J127BC161 ,  4J127BD101 ,  4J127BD171 ,  4J127BD201 ,  4J127BE04X ,  4J127BE041 ,  4J127BE05X ,  4J127BE051 ,  4J127BE11X ,  4J127BE11Y ,  4J127BE111 ,  4J127BE12X ,  4J127BE121 ,  4J127BE24X ,  4J127BE241 ,  4J127BE25Y ,  4J127BE251 ,  4J127BE31X ,  4J127BE31Y ,  4J127BE31Z ,  4J127BE311 ,  4J127BE34X ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF47X ,  4J127BF471 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG10X ,  4J127BG10Y ,  4J127BG10Z ,  4J127BG101 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG13X ,  4J127BG131 ,  4J127BG14Y ,  4J127BG141 ,  4J127BG16X ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG19X ,  4J127BG191 ,  4J127CB341 ,  4J127CB371 ,  4J127FA18 ,  4J127FA30
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (11件)
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