特許
J-GLOBAL ID：200903006639256654
フラットディスプレイパネルの検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-040169
公開番号（公開出願番号）：特開2006-226804
出願日： 2005年02月17日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。【解決手段】光照射手段(光ファイバ28)とフレネルレンズ30と撮像手段(エリアセンサーカメラ24)とを有する光学系31を用いて、基板21上に形成された塗布膜22の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ30を通過させた光を塗布膜22に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系31の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光照射手段とフレネルレンズと撮像手段とを有する光学系を用いて、基板上に形成された塗布膜の表面形状の検査を行うものであり、前記光照射手段から放射されて前記フレネルレンズを通過させた光を前記塗布膜に照射し、そのときの反射光を前記撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から前記光学系の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行うことを特徴とするフラットディスプレイパネルの塗布膜の検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01M 11/00
, G01N 21/88
G01B11/30 A
, G01M11/00 T
, G01N21/88 Z
2F065AA03
, 2F065AA47
, 2F065AA49
, 2F065AA58
, 2F065AA61
, 2F065BB01
, 2F065BB25
, 2F065CC00
, 2F065CC31
, 2F065GG02
, 2F065GG24
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL10
, 2F065QQ03
, 2F065QQ04
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ33
, 2F065QQ34
, 2F065RR04
, 2G051AA73
, 2G051AB02
, 2G051AB10
, 2G051AB12
, 2G051BB03
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CC09
, 2G051EA08
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA23
, 2G051EB01
, 2G051EC05
, 2G051ED09
, 2G051ED21
, 2G086EE10
出願人引用 (2件)
審査官引用 (13件)
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