特許
J-GLOBAL ID：200903007072227352
走査型プローブ装置およびその走査用プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-064980
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337025
出願日： 2001年03月08日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 走査用プローブがヘッド部に正しくセットされたか否かを簡単にチェックできるようにすること。【解決手段】 カンチレバー22の撓み量を検出するための検出用歪ゲージG1を備えた走査用プローブ2をヘッド部3に着脱自在に取り付けることができるようにした走査型プローブ装置1において、走査用プローブ2の取付状態確認のために操作されるスイッチ31の操作に応答して、検出用歪ゲージG1とヘッド部3との間の電気的接続状態の良否を判定するための抵抗値判別回路32による判定結果をランプ33によって表示するようにした。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの撓み量を検出するための検出用歪ゲージを備えた走査用プローブをヘッド部に着脱自在に取り付けることができるようにした走査型プローブ装置において、前記走査用プローブの取付状態確認のために操作されるスイッチ手段と、前記検出用歪ゲージと前記ヘッド部との間の電気的接続状態の良否を判定するための判定回路と、該判定回路による判定結果を表示するための表示手段とを備え、前記スイッチ手段のスイッチ動作に応答して前記判定結果を前記表示手段によって表示するようにしたことを特徴とする走査型プローブ装置。
IPC (7件)：
G01N 13/10
, G01B 7/34
, G01B 21/00
, G01L 5/00
, G01L 25/00
, G01N 13/16
, G12B 21/20
G01N 13/10 E
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/00 P
, G01L 5/00 Z
, G01L 25/00 A
, G01N 13/16 C
, G12B 1/00 601 G
