特許
J-GLOBAL ID：200903057361985467
カンチレバーユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320185
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153610
出願日： 1997年11月20日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーユニットの種類を簡単に識別できるようにする。【解決手段】 カンチレバーユニット10の種類に応じて、基板表面の異なる位置に目印用のダミーパターン91を設ける。例えば、当該カンチレバーユニット10が例えばAFM用であれば、ガラスエポキシ基板80の右上隅にダミーパターン91aを形成し、当該カンチレバーユニット10がMFM用であれば、ガラスエポキシ基板80の左下隅にダミーパターンを形成する。
請求項（抜粋）：
自由端の撓み量を検知する自己検知型カンチレバー、および前記自由端が端部から突出するように自己検知型カンチレバーを保持する基板によって構成されたカンチレバーユニットにおいて、前記基板には、当該カンチレバーユニットの種類に固有の識別情報が記録されたことを特徴とするカンチレバーユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, H01J 37/28 X
