周辺露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361617
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176785
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】周辺露光装置のスループットを向上する。【解決手段】光源ユニット14A、14Bは、支持部材12に沿って図の±X方向に移動可能である。両光源ユニット14A、14Bからビームを出射しつつ、支持部材12を図の±Y方向に走行させることにより、ガラス基板Gの周辺部のフォトレジストが露光される。光源ユニット14A、14Bが支持部材12に沿って±X方向に移動する際に、両光源ユニット14A、14B間の距離が一定の値以上となるように制御される。マスク16A、16Bは、図の±X方向に駆動され、周辺露光の対象エリア中で光を照射したくない部分があるときにはこのマスク16A、16Bがガラス基板Gを部分的に覆い、遮光する。

請求項（抜粋）：

光源と集光光学系とを含む照明ユニットを複数有し、パターンが露光されるパターン領域と前記パターンが露光されない非パターン領域とを有する感光基板の該非パターン領域を前記照明ユニットから出射される光で露光する周辺露光装置において、前記複数の照明ユニットを移動可能に保持する保持ユニットと、前記感光基板と前記保持ユニットとを相対的に第1の方向に駆動する第1駆動部と、前記複数の照明ユニットの各々を前記感光基板の略中央部に位置決め可能で、前記第1の方向とは異なる第2の方向に該複数の照明ユニットの各々を駆動する第2駆動部と、前記複数の照明ユニットを互いに干渉しないように前記第2駆動部を制御する駆動制御部とを備えたことを特徴とする周辺露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 501

FI (2件)：

G03F 7/20 501 , H01L 21/30 577

Fターム (24件)：

2H097AA08 , 2H097BA06 , 2H097BB01 , 2H097CA05 , 2H097CA07 , 2H097CA12 , 2H097LA12 , 5F046BA07 , 5F046CA02 , 5F046CB05 , 5F046CB06 , 5F046CB22 , 5F046CC01 , 5F046CC06 , 5F046CC08 , 5F046CC10 , 5F046CC15 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD06 , 5F046DA01 , 5F046DA02 , 5F046DB01 , 5F046DC12

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開平4-199810
特開平4-291914
角形基板の露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-201629 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (10件)

角形基板の露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-201629 出願人：株式会社ニコン
特開平4-199810
特開平4-291914

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