特許
J-GLOBAL ID：200903009463363040
ガス分析用Jet-REMPI装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 亀松 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-143953
公開番号（公開出願番号）：特開2007-315847
出願日： 2006年05月24日
公開日（公表日）： 2007年12月06日
要約：
【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、被測定ガス中の特定注目分子をオンサイトで連続的にかつ高感度で定量分析できるガス分析用可搬型Jet-REMPI装置を提供する。【解決手段】ガス導入系およびイオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、イオン化室に、被測定ガスを飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極を有し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とするガス分析用可搬型Jet-REMPI装置。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ガス導入系、イオン化室、レーザ照射系および飛行時間型質量分析計からなり、前記ガス導入系から前記イオン化室内に被測定ガスを前記飛行時間型質量分析計の方向に連続的に導入して超音速分子ジェット流を形成すると共に、前記レーザ照射系からレーザ光を該超音速分子ジェット流に対して照射して被測定ガス中の特定分子を共鳴多光子吸収過程でイオン化し、該生成イオンを前記イオン化室内のイオン光学系により加速偏向させた後、前記飛行時間型質量分析計で被測定ガス中の前記特定分子を分析するJet-REMPI装置において、
前記ガス導入系および前記イオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、前記イオン化室に、前記被測定ガスを前記飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、前記イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極と、アインツェルレンズと、さらに、隔壁で覆われた円筒状のポテンシャルスィッチおよびX,Yデイフレクタとを順次配置し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とすることを特徴とするガス分析用Jet-REMPI装置。
IPC (5件)：
G01N 27/64
, H01J 49/10
, G01N 27/62
, H01J 49/40
, H01J 49/06
G01N27/64 B
, H01J49/10
, G01N27/62 K
, H01J49/40
, H01J49/06
2G041AA09
, 2G041CA01
, 2G041DA03
, 2G041DA06
, 2G041EA05
, 2G041FA08
, 2G041GA06
, 2G041GA07
, 2G041GA18
, 2G041GA19
, 2G041GA22
, 2G041GA28
, 2G041GA29
, 2G041LA08
, 5C038FF01
, 5C038FF07
, 5C038GG07
, 5C038GH04
, 5C038GH10
, 5C038GH11
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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