特許
J-GLOBAL ID：200903009594071568
圧電体素子及びそれを用いたインクジェット式記録ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010611
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214762
出願日： 1998年01月22日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：
【要約】【課題】 圧電体膜の製造時における応力を緩和するとともに、圧電特性の向上を図る圧電体素子を提供することを目的とする。【構成】 本発明に係わる圧電体素子は、圧電体膜(40A、40B)と、上記圧電体膜を挟む上部電極及び下部電極と、を備え、上記圧電体膜は、転位密度が1013乃至1014/cm2で、厚さが約10nmの格子欠陥である転位層40Cを備える。
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、上記圧電体膜を挟む上部電極及び下部電極と、を備える圧電体素子において、上記圧電体膜は、格子欠陥である転位層を備えることを特徴とする圧電体素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/22 Z
