特許
J-GLOBAL ID：200903010189280050
角型基板研磨用ガイドリング及び研磨ヘッド並びに角型基板の研磨方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-121056
公開番号（公開出願番号）：特開2006-297523
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】フォトマスク基板等の角型基板を研磨する際、容易にかつ確実に高い平坦度を有する角型基板に仕上げることができるガイドリングを提供する。【解決手段】角型基板6を研磨布13に対して押圧しながら研磨する際に、前記基板の周囲で前記研磨布を押圧することにより基板の周辺部の過剰な研磨を防ぐためのガイドリングであって、前記基板を収容する収容部2を有し、少なくとも前記研磨布と接する側の面において、前記収容部の周辺の一部に基板とのクリアランスが他の部分よりも大きくなる部分4aが形成されていることを特徴とする角型基板研磨用ガイドリング1。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
角型基板を研磨布に対して押圧しながら研磨する際に、前記基板の周囲で前記研磨布を押圧することにより基板の周辺部の過剰な研磨を防ぐためのガイドリングであって、前記基板を収容する収容部を有し、少なくとも前記研磨布と接する側の面において、前記収容部の周辺の一部に基板とのクリアランスが他の部分よりも大きくなる部分が形成されていることを特徴とする角型基板研磨用ガイドリング。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3C043BB00
, 3C043BB05
, 3C043CC07
, 3C043DD05
, 3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058CA01
, 3C058CA06
, 3C058CB01
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)
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