特許
J-GLOBAL ID：200903086152041478

角形基板の研磨方法

発明者：
森谷 二郎

森谷 二郎 について

, 
渡辺 政孝

渡辺 政孝 について

, 
岡崎 智

岡崎 智 について

, 
小澤 秀和

小澤 秀和 について

, 
石井 遊

石井 遊 について

, 
兒嶋 俊市朗

兒嶋 俊市朗 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240027
公開番号（公開出願番号）：特開2003-048148
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月18日
要約：
【要約】【解決手段】 被研磨基板の形状が角形である角形基板を研磨する方法において、ガイドリングを有する基板保持ヘッドの該ガイドリング内に保持された前記基板の被研磨面を研磨布に押圧すると共に、この研磨布に前記ガイドリングを押圧し、上記研磨布、並びに前記基板保持ヘッドと前記基板をそれぞれ回転させて、前記ガイドリングの研磨ヘッド押圧面にて研磨布を押圧しつつ、前記基板の被研磨面を研磨するようにしたことを特徴とする角形基板の研磨方法。【効果】 本発明によれば、研磨時にガイドリング全体を被研磨基板と別に押圧荷重をかけることで、基板の平坦性を向上させ、更に平坦基板を安定的に得ることを可能にした。
請求項（抜粋）：
被研磨基板の形状が角形である角形基板を研磨する方法において、ガイドリングを有する基板保持ヘッドの該ガイドリング内に保持された前記基板の被研磨面を研磨布に押圧すると共に、この研磨布に前記ガイドリングを押圧し、上記研磨布、並びに前記基板保持ヘッドと前記基板をそれぞれ回転させて、前記ガイドリングの研磨ヘッド押圧面にて研磨布を押圧しつつ、前記基板の被研磨面を研磨するようにしたことを特徴とする角形基板の研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00 ,  B24B 7/24 ,  B24B 37/04
FI (3件)：
B24B 37/00 B ,  B24B 7/24 E ,  B24B 37/04 E
Fターム (12件)：
3C043BB07 ,  3C043CC04 ,  3C058AA07 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058BA05 ,  3C058BC01 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03
引用特許：
出願人引用 (19件)
全件表示
審査官引用 (19件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM