特許
J-GLOBAL ID：200903013894769874
プラズマ発生装置、プラズマ発生方法およびダイヤモンド生成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松島 理
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-229045
公開番号（公開出願番号）：特開2007-048497
出願日： 2005年08月08日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：
【課題】この発明は、比較的高圧で実施できるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法を提供すること、および、ダイヤモンドを生成できるような高エネルギーのプラズマを発生できるプラズマ発生方法を提供することを目的とする。【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係るプラズマ発生装置1は、反応容器2と、反応容器2にアルゴンガスを含む気体を供給する第1気体供給装置5と、炭化水素を含む気体を供給する第2気体供給装置6と、反応容器2へ1GHz以上の周波数のマイクロ波を導入するマイクロ波導入装置10を有するものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
反応容器と、反応容器にアルゴンガスを含む気体を供給する第1気体供給装置と、炭化水素を含む気体を供給する第2気体供給装置と、反応容器へ1GHz以上の周波数のマイクロ波を導入するマイクロ波導入装置を有するプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4G146AA04
, 4G146AB04
, 4G146AC16B
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC16
, 4G146BC33B
, 4G146DA16
, 4G146DA50
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (6件)
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