大気圧プラズマ処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山崎宏 , 前田厚司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-329147
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140051
出願日： 2004年11月12日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

【課題】外気の流入を防止し、処理ガスの流出を防止して処理ガス使用量を低減する。【解決手段】被処理基材6の上側に、プラズマ処理部1の上部1aを支える土台9を配置する。土台9における上部1aを挟んだ両端には、ガス溜め空間11を有するガスカーテン部材12を設置する。ガス溜め空間11から、ガスカーテン供給用スリット13を介して、ガスカーテン部材12の被処理基材6側で且つ反プラズマ処理部1側の角部から斜め下方にガス(ガスカーテン)14を射出する。こうして、ガスカーテン14の流れと本装置とで形成される空間内に処理ガス7を閉じ込めて、処理ガス7の使用量を低減する。さらに、ガスカーテン14によって、外気21の流入を防止する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

固体誘電体で被覆されると共に、所定の間隔を有して配置された一対の電極間に電界が印加されて、上記電極間に発生するプラズマによって、大気圧下で被処理基材を処理するプラズマ処理部と、上記プラズマ処理部における上記電極間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段と、上記プラズマ処理部および処理ガス供給手段を収納すると共に、上記被処理基材の入口および上記被処理基材の出口を有する筐体と、上記筺体内であって、上記被処理基材の入口および出口の近傍における上記被処理基材よりも上部および下部のうち少なくとも上記上部に設けられて、上記被処理基材側に且つ上記入口側および出口側に向かって斜めに、上記被処理基材の幅方向に亘ってカーテン状にガスを噴き出すガスカーテン部材とを備えたことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。

IPC (1件)：

H05H 1/24

FI (1件)：

H05H1/24

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-306569号広報
特開平2-15171号広報
グロー放電プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-342070 出願人：積水化学工業株式会社

審査官引用 (13件)

常圧プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-104380 出願人：積水化学工業株式会社
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-078207 出願人：積水化学工業株式会社
プラズマ表面処理方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-240314 出願人：株式会社エバテック, 株式会社イー・スクエア

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