特許
J-GLOBAL ID：200903014210085854

グリーンシートの穴あけ加工装置

発明者：
久所 之夫

久所 之夫 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033539
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【目的】レーザを使用するグリーンシート加工において、マスクを使用することなく、高精度で高速な穴あけと自在な穴あけ位置調整を実現する手段を提供する。【構成】本発明のグリーンシート穴あけ加工装置は、LD励起レーザ発振器1、フィードレンズ2、結像レンズ4、XYテーブル9で構成されている。加工対象物であるグリーンシート5はXYテーブル状に裁置する。発振器1のレーザロッドより発振したレーザはフィールドレンズ2と結像レンズ4を介してXYテーブル上のグリーンシートに端面結像し、所定の形状をグリーンシート上に照射、穴あけ加工を施す。
請求項（抜粋）：
少なくともレーザダイオードと細径レーザロッドと前記レーザダイオードから出射されるレーザ光を前記細径レーザロッド内に集光させる結合手段とを備えた固体パルスレーザ発振器と、フィールドレンズと結像レンズとグリーンシートを載置する台とから成り、レーザパルス幅が1μs〜200μsに設定された出射レーザをグリーンシート上に所定の形状に直接照射することを特徴とする、グリーンシートの穴あけ加工装置。
IPC (7件)：
H01S 3/094 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/08 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/07 ,  B23K101:42
FI (7件)：
B23K 26/00 N ,  B23K 26/00 330 ,  B23K 26/08 K ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/07 ,  B23K101:42 ,  H01S 3/094 S
Fターム (21件)：
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002HA20 ,  4E068AF00 ,  4E068CA02 ,  4E068CC02 ,  4E068CD11 ,  4E068CE08 ,  4E068CK01 ,  4E068DA11 ,  4E068DB12 ,  5F072AB02 ,  5F072AK01 ,  5F072JJ02 ,  5F072JJ08 ,  5F072KK05 ,  5F072KK12 ,  5F072QQ02 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06
引用特許：
審査官引用 (13件)
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