特許
J-GLOBAL ID：200903015737364537
液浸光学系及び液体媒体並びに露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-304492
公開番号（公開出願番号）：特開2005-079140
出願日： 2003年08月28日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 液体媒体による光学部材の溶解を抑制して、光学性能を維持し易い液浸光学系を提供する。 【解決手段】 光学部材11と、光学部材11に接した状態で光路中に配置された液体媒質15とを有する液浸光学系であり、液体媒質15が、光学部材11を構成する元素の少なくとも一つを溶存させた溶液など、光学部材11の溶解を抑制できる成分を含有させた溶液からなっている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光学部材と、該光学部材に接した状態で光路中に配置された液体媒質とを有する液浸光学系において、
前記液体媒質が、前記光学部材を構成する元素の少なくとも一つを溶存させた溶液からなることを特徴とする液浸光学系。
IPC (3件)：
H01L21/027
, G02B13/00
, G03F7/20
H01L21/30 515D
, G02B13/00
, G03F7/20 521
2H087KA21
, 2H087LA01
, 2H087NA00
, 5F046BA03
, 5F046CB01
, 5F046CB25
