特許
J-GLOBAL ID：200903016784947644
オゾン溶解水供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-105013
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291694
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】オゾン溶解水を、使用場所の直近にオゾン溶解水製造装置を設置できないような状況においても、使用濃度より格段に高い濃度のオゾン溶解水を製造する必要がなく、溶存オゾン濃度の管理が容易な、オゾン利用効率の高いオゾン溶解水供給装置を提供する。【解決手段】オゾンガスと被溶解水とを接触させるオゾンガス溶解器を備え、オゾン溶解水と未溶解ガスとを気液混合流体として排出する第1ユニットと、オゾン溶解水と未溶解ガスとが気液混合流体として流入し、オゾン溶解水と未溶解ガスとを分離する気液分離装置を備えた第2ユニットを有するオゾン溶解水供給装置であって、第1ユニットが、オゾン溶解水を使用する場所から離間した場所に設置され、第2ユニットが、オゾン溶解水を使用する場所に設置され、第1ユニットと第2ユニットが、オゾン溶解水と未溶解ガスとの気液混合流体を導く導管により接続されてなることを特徴とするオゾン溶解水供給装置。
請求項（抜粋）：
オゾンガスと被溶解水とを接触させるオゾンガス溶解器を備え、オゾン溶解水と未溶解ガスとを気液混合流体として送出する第1ユニットと、オゾン溶解水と未溶解ガスとが気液混合流体として流入し、オゾン溶解水と未溶解ガスとを分離する気液分離装置を備えた第2ユニットを有するオゾン溶解水供給装置であって、第1ユニットが、オゾン溶解水を使用する場所から離間した場所に設置され、第2ユニットが、オゾン溶解水を使用する場所に設置され、第1ユニットと第2ユニットが、オゾン溶解水と未溶解ガスとの気液混合流体を導く導管により接続されてなることを特徴とするオゾン溶解水供給装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 648
, B01F 1/00
, C01B 13/10
H01L 21/304 648 K
, B01F 1/00 A
, C01B 13/10 D
4G035AA01
, 4G035AE13
, 4G042CE01
, 4G042CE04
