特許
J-GLOBAL ID：200903017675731611

変位測定装置およびそれを用いた変位測定方法

発明者：
大澤 誠一

大澤 誠一 について

, 
小久保 省司

小久保 省司 について


出願人/特許権者：
シチズン時計株式会社

シチズン時計株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-288397
公開番号（公開出願番号）：特開2003-097911
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 測定精度の向上を図るため、可動部がなく、しかも合焦点位置検出をより低速で行うことの可能な共焦点光学系を利用した変位測定装置およびその変位測定装置を用いた変位測定方法を提供することが課題である。【解決手段】 レーザ光を出射するレーザ発光源12とレーザ光を透過と反射するビームスプリッタ13とコリメートレンズ14と対物レンズ15と、反射光を検出する検出器18とを有する変位測定装置であって、前記コリメートレンズ14と対物レンズ15とのあいだに液晶レンズ101を設けたことを特徴とする変位測定装置およびそれを用いた変位測定方法。
請求項（抜粋）：
レーザ光を出射するレーザ発光源と、該レーザ光を透過と反射するビームスプリッタと、コリメートレンズと、対物レンズと、反射光を検出する検出器とを有する変位測定装置であって、前記コリメートレンズと前記対物レンズとの間に液晶レンズを設けたことを特徴とする変位測定装置。
Fターム (12件)：
2F065AA06 ,  2F065FF10 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL04 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30
引用特許：
審査官引用 (25件)
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