特許
J-GLOBAL ID：200903017861653671

表面検査装置

発明者：
東 裕史

東 裕史 について

, 
渡邉 哲也

渡邉 哲也 について

, 
愛甲 健二

愛甲 健二 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-042241
公開番号（公開出願番号）：特開2007-256272
出願日： 2007年02月22日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】本発明は、不良が発生したウエハの端部の状態をプロセス全体にわたって容易に観察、追跡ができる機能を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、ウエハ外周部を検査するウエハ表面検査装置において、ウエハ外周部の画像を撮るレンズ系およびCCDカメラと、撮った画像データを記憶する記憶手段と、記憶装置に記憶されている画像データを表示する表示手段とを有することを特徴とする。 更に、具体的に述べると、本発明はプリアライメント部に載せてウエハを回転させ、ウエハのオリエンテーションフラット部あるいはノッチ部の位置合わせを行う部位に、レンズ系とCCDカメラにより、ウエハ端部の外周1週分の画像を記録し、記憶装置に取り込み、CRT上に表示させる機能を有することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査物外周部を検査する表面検査装置において、 前記被検査物外周部の画像を撮るレンズ系およびCCDカメラと、 撮った画像データを記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶されている画像データを表示する表示手段とを有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/66 ,  G01B 11/30
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01N21/88 Z ,  H01L21/66 J ,  G01B11/30 Z
Fターム (41件)：
2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065GG17 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL08 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB08 ,  2G051BB01 ,  2G051BB05 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED12 ,  2G051ED15 ,  2G051FA01 ,  2G051FA02 ,  2G051FA04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA41 ,  4M106CA46 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (16件)
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