特許
J-GLOBAL ID:200903018231852729

感光性フイルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-374043
公開番号(公開出願番号):特開2007-178500
出願日: 2005年12月27日
公開日(公表日): 2007年07月12日
要約:
【課題】保存安定性に優れ、感光層と支持体又は保護フイルムとを容易に剥離することができ、基材表面の凹凸への追従性が良好で、青紫色レーザ露光システム中に好適な感光性フイルム、並びに、該感光性フイルムを用いた永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】支持体と、感光層と、保護フイルムとをこの順に積層してなる感光性フイルムであって、前記支持体の少なくとも一方の面が離型性を有し、該離型性表面の表面張力が40dyn/cm以下であり、前記感光性フイルムから幅4.5cm×長さ8cmに切り出したサンプルを、前記支持体が表面側となるように台座上に固定し、該サンプルから支持体を引っ張り速度160cm/minで引き剥がした際における前記感光層と前記支持体との剥離力が1〜300gf/45mmであることを特徴とする感光性フイルム、これを用いた永久パターン及びその形成方法である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持体と、該支持体上に、(A)アルカリ可溶性架橋性樹脂と、(B)光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)熱架橋剤と、を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層と、該感光層上に保護フイルムとを有する感光性フイルムであって、 前記支持体の少なくとも一方の面が離型性を有し、該離型性表面の表面張力が40dyn/cm以下であり、 前記感光性フイルムから幅4.5cm×長さ8cmに切り出したサンプルを、前記支持体が表面側となるように台座上に固定し、該サンプルから支持体を引っ張り速度160cm/minで引き剥がした際における前記感光層と前記支持体との剥離力が、1〜300gf/45mmであることを特徴とする感光性フイルム。
IPC (6件):
G03F 7/004 ,  G03F 7/09 ,  G03F 7/11 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/28 ,  C08F 290/06
FI (7件):
G03F7/004 512 ,  G03F7/09 501 ,  G03F7/11 501 ,  G03F7/027 515 ,  G03F7/004 501 ,  H05K3/28 D ,  C08F290/06
Fターム (84件):
2H025AA16 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CA18 ,  2H025CA23 ,  2H025CA28 ,  2H025CA31 ,  2H025CA39 ,  2H025CA41 ,  2H025CA48 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  2H025DA20 ,  2H025FA29 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127AA07 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB082 ,  4J127BB131 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB301 ,  4J127BC031 ,  4J127BC032 ,  4J127BC141 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BD062 ,  4J127BD201 ,  4J127BE11X ,  4J127BE112 ,  4J127BE29Y ,  4J127BE292 ,  4J127BE34X ,  4J127BE34Y ,  4J127BE34Z ,  4J127BE341 ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BF29Y ,  4J127BF292 ,  4J127BF31Y ,  4J127BF311 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG04Z ,  4J127BG041 ,  4J127BG042 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG051 ,  4J127BG10Y ,  4J127BG102 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127CB371 ,  4J127CC111 ,  4J127DA23 ,  4J127DA52 ,  4J127EA01 ,  4J127EA15 ,  4J127FA18 ,  4J127FA38 ,  5E314AA27 ,  5E314AA32 ,  5E314CC15 ,  5E314DD07 ,  5E314GG24
引用特許:
出願人引用 (11件)
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