特許
J-GLOBAL ID:200903018231852729
感光性フイルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-374043
公開番号(公開出願番号):特開2007-178500
出願日: 2005年12月27日
公開日(公表日): 2007年07月12日
要約:
【課題】保存安定性に優れ、感光層と支持体又は保護フイルムとを容易に剥離することができ、基材表面の凹凸への追従性が良好で、青紫色レーザ露光システム中に好適な感光性フイルム、並びに、該感光性フイルムを用いた永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】支持体と、感光層と、保護フイルムとをこの順に積層してなる感光性フイルムであって、前記支持体の少なくとも一方の面が離型性を有し、該離型性表面の表面張力が40dyn/cm以下であり、前記感光性フイルムから幅4.5cm×長さ8cmに切り出したサンプルを、前記支持体が表面側となるように台座上に固定し、該サンプルから支持体を引っ張り速度160cm/minで引き剥がした際における前記感光層と前記支持体との剥離力が1〜300gf/45mmであることを特徴とする感光性フイルム、これを用いた永久パターン及びその形成方法である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持体と、該支持体上に、(A)アルカリ可溶性架橋性樹脂と、(B)光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)熱架橋剤と、を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層と、該感光層上に保護フイルムとを有する感光性フイルムであって、
前記支持体の少なくとも一方の面が離型性を有し、該離型性表面の表面張力が40dyn/cm以下であり、
前記感光性フイルムから幅4.5cm×長さ8cmに切り出したサンプルを、前記支持体が表面側となるように台座上に固定し、該サンプルから支持体を引っ張り速度160cm/minで引き剥がした際における前記感光層と前記支持体との剥離力が、1〜300gf/45mmであることを特徴とする感光性フイルム。
IPC (6件):
G03F 7/004
, G03F 7/09
, G03F 7/11
, G03F 7/027
, H05K 3/28
, C08F 290/06
FI (7件):
G03F7/004 512
, G03F7/09 501
, G03F7/11 501
, G03F7/027 515
, G03F7/004 501
, H05K3/28 D
, C08F290/06
Fターム (84件):
2H025AA16
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025CA01
, 2H025CA18
, 2H025CA23
, 2H025CA28
, 2H025CA31
, 2H025CA39
, 2H025CA41
, 2H025CA48
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025DA01
, 2H025DA19
, 2H025DA20
, 2H025FA29
, 4J127AA03
, 4J127AA04
, 4J127AA06
, 4J127AA07
, 4J127BB041
, 4J127BB042
, 4J127BB082
, 4J127BB131
, 4J127BB221
, 4J127BB222
, 4J127BB281
, 4J127BB301
, 4J127BC031
, 4J127BC032
, 4J127BC141
, 4J127BC151
, 4J127BC152
, 4J127BD062
, 4J127BD201
, 4J127BE11X
, 4J127BE112
, 4J127BE29Y
, 4J127BE292
, 4J127BE34X
, 4J127BE34Y
, 4J127BE34Z
, 4J127BE341
, 4J127BE342
, 4J127BE41Z
, 4J127BE411
, 4J127BF29Y
, 4J127BF292
, 4J127BF31Y
, 4J127BF311
, 4J127BG04Y
, 4J127BG04Z
, 4J127BG041
, 4J127BG042
, 4J127BG05Y
, 4J127BG051
, 4J127BG10Y
, 4J127BG102
, 4J127BG16Z
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG17Y
, 4J127BG17Z
, 4J127BG171
, 4J127BG172
, 4J127CB371
, 4J127CC111
, 4J127DA23
, 4J127DA52
, 4J127EA01
, 4J127EA15
, 4J127FA18
, 4J127FA38
, 5E314AA27
, 5E314AA32
, 5E314CC15
, 5E314DD07
, 5E314GG24
引用特許:
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