特許
J-GLOBAL ID：200903018243793396

感光性樹脂組成物

発明者：
高橋 修一

高橋 修一 について


出願人/特許権者：
クラリアント インターナショナル リミテッド

クラリアント インターナショナル リミテッド について


代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-182087
公開番号（公開出願番号）：特開2005-017666
出願日： 2003年06月26日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】アルカリ可溶性樹脂及び感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、高温ベーキング後においても膜表面の平坦性を保持し、良好な光透過率を有する薄膜が得られ、且つ経時安定性の良い、特に層間絶縁膜、平坦化膜などの形成に適した感光性樹脂組成物、及びこれを用いたフラットパネルディスプレイ、半導体素子を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基を有する感光剤並びに硬化剤を含有する感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂であり、且つキノンジアジド基を有する感光剤が下記一般式(I)で表されるフェノール性化合物とナフトキノンジアジド化合物との反応生成物であり、硬化剤がエポキシ基を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。この感光性樹脂組成物には、更に必要に応じ、フェノール性化合物、硬化促進剤が含有される。(式中、R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立してH又はC1-C2のアルキル基を表し、R5及びR6は、それぞれ独立してC1-C2のアルキル基を表す。)
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド基を有する感光剤並びに硬化剤を含有する感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂がアクリル系樹脂であり、且つキノンジアジド基を有する感光剤が下記一般式(I)で表されるフェノール性化合物とナフトキノンジアジド化合物との反応生成物であり、硬化剤がエポキシ基を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F7/022 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (5件)：
G03F7/022 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
Fターム (24件)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03
引用特許：
審査官引用 (13件)
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