電界放出型冷陰極の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-256062
公開番号（公開出願番号）：特開2007-073217
出願日： 2005年09月05日
公開日（公表日）： 2007年03月22日
要約：

【課題】配向性カーボンナノチューブ膜の表面に垂直方向に微小口を有する構造体を積層することにより、低電圧で均一な電子放出を可能とする、電界放出型冷陰極の製造方法を提供する。【解決手段】配向性カーボンナノチューブ膜を保持基板から電極基板に転写する工程と、導電層および絶縁層から成る二層構造体に垂直方向の開口を施す工程と、該配向性カーボンナノチューブ膜の表面に該二層構造体の該導電層側を設置する工程を含む、電界放出型冷陰極の製造方法。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

配向性カーボンナノチューブ膜を保持基板から電極基板に転写する工程と、導電層および絶縁層から成る二層構造体に垂直方向の開口を施す工程と、該配向性カーボンナノチューブ膜の表面に該二層構造体の該導電層側を設置する工程を含む、電界放出型冷陰極の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 , H01J 1/304 , H01J 21/10 , H01J 19/24

FI (4件)：

H01J9/02 B , H01J1/30 F , H01J21/10 , H01J19/24

Fターム (20件)：

5C127AA01 , 5C127BA09 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD23 , 5C127DD45 , 5C127DD52 , 5C127DD69 , 5C127DD99 , 5C135AA09 , 5C135AA15 , 5C135AB07 , 5C135AC01 , 5C135AC24 , 5C135FF18 , 5C135FF19 , 5C135GG16 , 5C135HH04 , 5C135HH06

引用特許：

出願人引用 (11件)

カーボンナノチューブの自己配向性束及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-583057 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ
配向性カーボンナノチューブのパターン化された柱形状集合体および電界放出型冷陰極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-256429 出願人：三菱瓦斯化学株式会社
パターン化カーボンナノチューブ膜
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-621279 出願人：コモンウエルスサイエンティフィックアンドインダストリアルリサーチオーガナイゼーション

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